Umumnya ada dua proses pengolahan untuk gas limbah di industri minyak silikon
Pembakaran termal regeneratif RTODanMetode semprot + adsorpsi karbon aktif. Perangkat pengolahan gas buang meliputi pemisah gas-cair, kondensor dalam, menara pencuci asam, menara pencuci alkali, filter kering, tungku pembakaran katalitik RTO dan cerobong buang.